ASML 에 대해 알아보자. (Feat. 삼성전자와의 협력)

EUV 노광장비 독점 제조로 반도체 장비 기업 중 압도적인 기술력을 자랑 하는 ASML이 최근 삼성전자와 협력하여 한국에 R&D 센터를 걸립한다는 글이 보도되었습니다.

그에따라 ASML이 어떤 기업인지? 그리고 왜 ASML 장비를 서로 못사서 안달인지에 대해 알아보겠습니다.

이데일리 기사: 삼성·ASML ‘1조 합작’ R&D 센터 韓에 만든다

소개

ASML은 네덜란드에 본사를 둔 세계적인 반도체 장비 제조기업입니다.

이 회사는 특히 극자외선(EUV) 노광장비를 독점 제조하고 있는 것으로 유명합니다.

ASML의 EUV 노광장비는 반도체 제조 과정에서 필수적인 역할을 하며, 이 기술은 반도체 칩의 특징을 실리콘 웨이퍼 위에 정밀하게 그려 넣는 데 사용됩니다​​.

ASML wiki: [ https://wikipedia.org/wiki/ASML ]

역사

  • 1984년: 네덜란드의 필립스와 ASMI의 합작으로 ASML이 설립되었습니다. ASML이라는 이름은 ‘ASM Lithography’의 약어에서 유래했습니다​​.
  • 1988년: ASML은 필립스로부터 독립하였으나, 필립스는 일부 지분을 계속 보유하였습니다​​.
  • 2010년대: 반도체 산업을 변화시키기 시작하면서 EUV 리소그래피 도구(NXE:3100)의 첫 프로토타입을 출시하였습니다. 이는 반도체 산업에서 새로운 시대의 시작을 알렸습니다​​.
  • 2012년: 인텔은 ASML의 지분 15%를 인수하고, 41억 달러를 투자하였습니다. TSMC와 삼성전자도 유사한 이유로 지분을 투자하였습니다​​.
  • 2017년: ASML은 한 해 동안 12대의 EUV 장비를 출하하였습니다​​.
  • 2019년: ASML의 EUV 노광장비의 중화인민공화국 수출을 미국 연방 정부가 고급 기술 유출 방지를 이유로 막았습니다. 이에 대해 ASML은 네덜란드 정부의 수출허가를 기다리고 있다고 답하였습니다​​.
  • 2020년대: EUV가 고용량 제조로 이동하면서, ASML은 100번째 EUV 시스템 출하를 기념했습니다​​.
  • 주가 전망: ASML의 주가는 2023년 7월 20일 기준으로 700 달러에 달했습니다. 이는 2020년 초 184 달러에 비해 거의 4배 이상 상승한 것입니다. 이러한 상승은 EUV 노광 장비의 수요 증가와 기술력 향상에 기인합니다​​.

사업분야

ASML의 주요 사업 분야는 반도체 리소그래피 장비의 제조와 서비스 제공입니다.

다음은 ASML의 주요 사업 분야에 대한 상세한 설명입니다:

  1. EUV 노광 장비 제조: ASML은 세계 유일의 EUV 노광 장비 제조업체로, 이 기술은 반도체의 미세화를 선도하는 핵심 기술입니다. EUV 노광 장비는 10nm 이하의 반도체 제조에 사용되며, 기존의 ArF 노광 장비보다 더 미세한 패턴을 구현할 수 있습니다.
  2. ArF 이머전 및 KrF 노광 장비: ASML은 ArF 이머전 노광 장비와 KrF 노광 장비도 제조합니다. ArF 이머전 노광 장비는 주로 14nm의 반도체 제조에 사용됩니다.
  3. i-line 노광 장비: i-line 노광 장비는 ASML의 소형 제품으로, 32nm~22nm의 반도체를 제조하는 데 사용됩니다.

ASML의 독보적인 기술

ASML은 반도체 장비 시장에서 독보적인 기술을 보유하고 있습니다.

이 회사의 기술력은 주로 극자외선(EUV) 노광 기술에 집중되어 있으며, 이는 반도체 산업의 미래를 형성하는 데 중요한 역할을 하고 있습니다.

EUV 노광 기술의 중요성

EUV 노광 기술은 반도체의 미세화를 가능하게 하는 핵심 기술입니다.

이 기술을 통해 반도체 칩은 더 작고, 더 빠르며, 에너지 효율성이 높은 기능을 구현할 수 있습니다.

EUV 노광 기술이 없다면, 현재 우리가 사용하는 고성능 컴퓨터, 스마트폰, 인공지능 기기 등이 존재하기 어려웠을 것입니다.

이 기술은 반도체의 소형화를 통해 더 많은 기능을 칩에 집적시킬 수 있게 해, 기술 혁신의 주요한 촉매제 역할을 하고 있습니다.

기술의 작동 원리

간단히 설명하면 다음의 순서를 거치게 됩니다

  1. 웨이퍼를 대기 중에 노출합니다.
  2. EUV 리플렉터(reflector)에서 반사된 EUV 빛을 웨이퍼에 조사합니다.
  3. 웨이퍼 표면에 증착된 포토레지스트(PR)가 EUV 빛에 의해 감광됩니다.
  4. 포토레지스트를 현상하여 회로 패턴을 형성합니다.
ASML_EUV_Machine

시장에서의 독점적 위치

ASML은 EUV 노광 기술 분야에서 세계적으로 독점적인 위치를 차지하고 있습니다.

이 회사는 고도로 정교한 EUV 리소그래피 장비를 제조하는 유일한 업체로, 전 세계 주요 반도체 제조사들이 ASML의 장비에 의존하고 있습니다.

이러한 독점적인 위치는 ASML에게 시장에서 강력한 협상력을 부여하며, 반도체 산업에서의 그들의 중요성을 더욱 강조합니다.

ASML과 삼성전자의 협력

세계적인 반도체 장비 제조업체인 ASML과 글로벌 기술 선두주자 삼성전자가 협력하게 되었습니다.

이번 파트너십은 양사의 기술과 자원을 결합하여 반도체 산업의 혁신을 가속화하는 데 중점을 두고 있습니다.

이들의 협력은 첨단 리소그래피 시스템 개발에 중점을 두고 있으며, 이는 반도체 제조 과정에서 핵심적인 역할을 합니다.

R&D 센터의 목적과 기대 효과

이 센터의 주요 목적은 첨단 리소그래피 기술과 관련한 연구 개발을 촉진하는 것입니다.

이러한 공동 작업은 양사의 기술력을 강화하고, 보다 효율적이고 비용 효과적인 반도체 생산 방법을 개발하는 데 기여할 것으로 기대됩니다.

또한, 이 협력은 양사의 경쟁력을 높이고, 글로벌 반도체 산업에서의 리더십을 강화할 것으로 예상됩니다.

리소그래피(Lithography) 기의 중요성

리소그래피는 반도체 칩 제조의 핵심 과정 중 하나입니다.

이 기술은 빛을 이용하여 실리콘 웨이퍼 위에 미세한 회로 패턴을 생성합니다.

ASML은 극자외선(EUV) 리소그래피 기술을 선도하는 회사로, 이 기술은 더 작고 더 정교한 칩을 만드는 데 필수적입니다.

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